亚洲成人999-成年人网av毛片-日韩女同互慰一区二区-2019久久久最新精品-国产毛片3-国产成人精品亚洲男人的天堂-国产又黄视频-av在线天堂网-欧美做爰猛烈床戏大尺度-国产在线视频主播区-亚洲不卡一区二区三区-中国成人毛片-青青操操-日韩在线播放中文字幕-午夜精品久久久

深圳市康華爾電子有限公司

誠信通第9年
咨詢熱線:0755-27838351
聯系康華爾電話: 0755-27838351手機: 138 2330 0879Q Q: 632862232立即咨詢郵箱: konuaer@163.com
首頁晶振官方博客 壓電石英晶片鍍膜過程

壓電石英晶片鍍膜過程

來源:http://www.gajd.com.cn 作者:konua 2012年12月20

           壓電石英水晶種植成功之后,需要經過切片以及打磨,在經過清洗,要把晶片表面的灰塵清洗干凈,以及處理打磨過程中預留的殘渣,水晶片是所以石英頻率元件中最為關鍵的一個環節,如果是水晶片本身出現問題,那么將影響到成品的質量。所以壓電石英水晶片的要求是:晶片表面光潔明亮、無水跡、無污點,無劃傷、無裂痕, 處理后的表面應光亮, 平滑, 顯微粗糙度小、缺陷少。首先水晶片要經過清洗機,以及超聲波,在甩干,目前我們采用的是酸液清洗再加超聲清洗的辦法。就好像壓電陶瓷霧化片在切割之后也需要經過清洗在經過超聲波一樣,都是需要保持干凈明亮,以最高的要求達到標準。
然后在晶片上鍍膜,這樣生產出來的聲表面波濾波器才能達到最高的品質。
目的:在晶片表面形成一層金屬薄膜(Al),以便隨后刻印圖形。
要求:晶片表面鋁層光潔明亮、無發灰、無污點,無氣泡,鋁層接合牢固,不脫落,鋁層表面無劃傷,無裂痕,達到要求的鋁層厚度。
設備:鍍膜機(CVC601,BAK640)、臺階儀(Alpha-Step 200)
蒸發:對淀積薄膜的源材料施加熱能或動能,使之分解為原子或原子的集合體,并結合或凝聚在晶片表面,形成薄膜。電子束蒸發是利用高能聚焦電子束打到蒸發源表面,使之熔化并蒸發到晶片表面上
,形成薄膜。產生電子束的電子槍分環形槍、直槍(皮爾斯槍)和e型槍(即270度偏轉電子槍)等。環形槍功率和效率均很低,直槍的蒸發源會污染槍體,我們目前使用的主要是e型槍電子束蒸發裝置。
蒸發過程必須在真空室內進行,如果真空室內殘存大量氣體分子,則會產生以下質量問題:(優質的晶片,可以制作成高精度的晶振,以及濾波器系列)
1、蒸發粒子的直線運動受到殘余氣體分子的碰撞而形成霧狀微粒,難以制備均勻平整的薄膜。
2、殘余空中的活性分子(如氧分子)與金屬原子形成化合物。
3、殘余空氣分子進入薄膜形成雜質。
4、蒸發加熱器、蒸發源等與殘離,在35cm以內。
5、為使鋁膜光亮,打開擋板不可過早,蒸發速率不可過小,充氣取片也不可過早,否則鋁膜和坩堝內的鋁錠會嚴重氧化。 
6、電子束蒸發工藝的沾污源主要來自系統,對真空室內所有工件的清洗是極為必要的。
7、膜厚控制。電子束加熱蒸發,只要控制好電子束功率,蒸發速率的重復性就相當好,輔以控制蒸發時間,便可獲得所需要的膜厚。
磁控濺射是一種較新型的濺射技術,它是建立在二極濺射的基礎上,即在陰極的后面設置一永恒磁鐵或電磁鐵,從而產生一個靠近且平行于靶表面的磁場。此磁場同陰極和陽極間的電場相互垂直,在電
場和磁場的共同作用下,電子(主要是二次電子)在磁力線與靶表面所包圍的狹小空間作螺旋運動,這就大大提高了電子與濺射氣體原子的碰撞機率,從而提高了濺射速率。磁控濺射與其它濺射技術相比有如下特點:
1、濺射速率高;
2、在較低的電壓(300一700V)及濺射壓力(0.13~1.3kpa)  可獲較大的功率密度,濺射效率大大提高,淀積膜的質量較好,晶片受到的輻射損傷輕;
3、襯底溫度較低;
4、濺射條件容易控制,重復性好;
5、便于連續生產,生產效率高;
6、膜的晶粒尺寸容易控制;
7、可采用直流電源或射頻電源:采用射頻電源時也可濺射非金屬材料,如SiO2等;
8、為獲得高質量的臺階覆蓋,磁控濺射也可采用加偏壓濺射 。
磁控濺射可能存在的一些問題:
1、等離子體輝光放電不正常
2、鋁層顏色不正常,有灰暗渾濁區域
3、2里面的(晶片)上AL膜臺階覆蓋不良
4、AL膜反光度不好
5、可焊性差
6、均勻性不好
目的:把掩膜版上的器件圖形復制到晶片上。
要求:光刻完成后,圖形指條清晰,指條邊緣整齊、無殘缺,斷指、連指的面積應小于一定比例 (在總面積的20%以下)。
設備:勻膠機,光刻機,顯影機,烘箱,顯微鏡
光刻是聲表制造中最關鍵的步驟,需要高性能以便結合其它工藝來獲得高成品率。光刻技術的關鍵材料是光刻膠,它是一種聚合可溶解物,被臨時涂在晶片表面,僅是為了必要圖形的轉移,一旦圖形經
過刻蝕,就要被去掉。其實壓電石英晶片跟壓電陶瓷晶振還是有很多的區別,一個是石英晶體片,一個是陶瓷混合片,石英晶體片可以制作成多款元件系列產品。 

                                                                                                

正在載入評論數據...

發表評論:

姓名:
郵箱:
驗證: 驗證碼
正文:

歡迎參與討論,請在這里發表您的看法、交流您的觀點。

誠征下列地區 晶振 | 石英晶振 | 圓柱晶振 | 貼片晶振 | 陶瓷晶振 | 石英晶體諧振器 | 頻率元件 的合作伙伴:
深圳市 廣州市 北京 上海 東莞 佛山 中山 順德 珠海 杭州 溫州 武漢 長沙 南京 大連 長春 西安 鄭州 澳門 沈陽 南寧 昆明 濟南 重慶 成都
有源晶振,表晶,石英晶振,,貼片晶振,聲表面濾波器,陶瓷晶振,陶瓷霧化片,陶瓷濾波器,微孔霧化片,微孔霧化片,單片158KHz微孔霧化片,單片陶瓷霧化片,霧化片,進口晶振,F11聲表面濾波器,TO-39聲表面濾波器,3*3貼片聲表面濾波器,KDS晶振,愛普生晶振,精工晶振,村田晶振,京瓷晶振,NDK晶振,NX3225SANDK晶振,NX5032GANDK晶振,有源晶振,溫補晶振,KDS晶振DST310S,愛普生晶振FC-135,愛普生晶振MC-146,精工晶振SC-32S,精工晶振SSP-T7;
在線客服
在線客服
close
在線客服 康華爾微信號
康華爾公眾號
主站蜘蛛池模板: 欧美多毛肥妇视频 | 亚洲精品97久久中文字幕无码 | 欧美 亚洲 丝袜 清纯 中文 | 国产99久久精品一区二区300 | 在线免费黄色 | 亚洲欧美日本久久综合网站 | 成人午夜污污在线观看网站 | 特大黑人娇小亚洲女 | 色网综合| 天天爽夜夜爽人人爽曰 | 欧美高清视频一区 | 天天噜噜揉揉狠狠夜夜 | 成年男女免费视频网站 | 特级西西444www大精品视频免费看 | 韩国18禁啪啪无遮挡免费 | 亚洲精品视频久久久 | 亚洲处破女av日韩精品 | 夜夜爽狠狠天天婷婷五月 | 久久精品国产99久久美女 | 久久久夜色精品亚洲 | 亚洲aⅴ天堂av天堂无码麻豆 | 亚洲成a人片在线观看无遮挡 | 少妇一级淫片免费观看 | 99精品久久99久久久久 | 夜夜综合网 | 亚洲免费久久 | 久久精品人妻中文系列 | 97久久天天综合色天天综合色hd | 国产成人久久精品流白浆 | 内射一区二区精品视频在线观看 | 国产色图视频 | 白晶晶果冻传媒国产今日推荐 | 欧美一区二区三区激情 | 曰本一道本久久88不卡 | 久操中文字幕在线观看 | 怡红院av一区二区三区 | 日日夜夜国产 | 国产97色在线 | 国 | 久久亚洲精品ab无码播放 | 最新无码专区视频在线 | www亚洲 | 亚洲网国产 | 精品1卡二卡三卡四卡老狼 国产又黄又大又粗视频 | 亚洲一区二区三区丝袜 | 男女裸体下面进入的免费视频 | 亚洲97视频 | 亚洲私人无码综合久久网 | 特黄特色大片免费播放器图片 | 国产色青青视频在线观看撒 | 插插插干干干 | 国精产品一区一区三区 | 熟妇人妻无码xxx视频 | 欧美色图亚洲色 | 大香伊蕉在人线免费视频 | 丰满多毛少妇做爰视频爽爽和 | 叼嘿视频91| 18资源在线www免费 | 操欧美老女人 | 97免费在线 | 色偷偷色噜噜狠狠成人免费视频 | av在线网页| 色屁屁影院www国产高清麻豆 | 香蕉av一区二区三区 | 午夜福利国产在线观看1 | 最新日韩在线 | 国产乱子伦三级在线播放 | 色欧美色 | 亚洲色大成网站www久久九 | av片免费看 | 免费播放婬乱男女婬视频国产 | 宅男午夜成年影视在线观看 | 无码精品日韩中文字幕 | 国产色片在线观看 | 又湿又紧又大又爽又a视频 成人综合网亚洲伊人 | 国产一区二区三区在线视頻 | av私库| 国产精品无圣光一区二区 | 亚洲欧美日韩中文高清www777 | 欧美丰满大黑帍在线播放 | 欧美色就是色 | 十八禁在线观看视频播放免费 | 国产精品亚洲一区二区 | 亚洲免费在线视频 | 色丁狠狠桃花久久综合网 | 美女露全乳无遮掩视频 | 神马影院午夜理论二 | 亚洲精品第一国产综合精品99 | 国产69精品久久久久乱码免费 | 国产精品二区视频 | 99久久久无码国产精品6 | 中文在线免费视频 | www日本高清 | 国产精品成人在线观看 | 国产成人精品日本亚洲77美色 | 亚洲一区二区二区久久成人婷婷 | 成人福利视频网站 | 欧美一区二区免费 | 日本一区二区三区高清无卡 | 色爱综合激情五月激情 |